【成都南仪电子-真空计/电气枪/扫描仪/离子源厂

  定制案例     |      2019-08-14 08:30:17

 

 1、玻义尔定律

  体积V,压强P,P·V=常数

  一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。

  即P1/P2=V2/V1

  2、盖·吕萨克定律

  当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:

  V1/V2=T1/T2=常数

  当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。

  3、查理定律

  当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其绝对温度T成正比,即:

  P1/P2=T1/T2

  在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。

压控电磁阀(图)

  4、平均自由程:

  λ=(5×10-3)/P (cm)

  5、抽速:

  S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P

  Q=流量(托·升/秒) P=压强(托)  V=体积(升) t=时间(秒)

  6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒)

  7、真空抽气时间:

  对于从大气压到1托抽气时间计算式:

  t=8V/S (经验公式)

  V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。

  8、维持泵选择:

  S维=S前/10

  9、扩散泵抽速估算:

  S=3D2 (D=直径cm)

  10、罗茨泵的前级抽速:

  S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)

  11、漏率:

  Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)

  Q漏-系统漏率(mmHg·l/s)

  V-系统容积(l)

  P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)

  P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

  t-压强从P1升到P2经过的时间(s)

  12、粗抽泵的抽速选择:

  S=Q1/P预 (l/s)

  S=2.3V·lg(Pa/P预)/t

  S-机械泵有效抽速

  Q1-真空系统漏气率(托·升/秒)

  P预-需要达到的预真空度(托)

  V-真空系统容积(升)

  t-达到P预时所需要的时间

  Pa-大气压值(托)

  13、前级泵抽速选择:

  排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:

  PnSg≥PgS 或

  Sg≥Pgs/Pn

  Sg-前级泵的有效抽速(l/s)

  Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)

  Pg-真空室最高工作压强(托)

  S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

  14、扩散泵抽速计算公式:

  S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)

  式中:S-被试泵的抽气速率(l/s)

  n-滴管内油柱上升格数(格)

  t-油柱上升n格所需要的时间(秒)

  P-在泵口附近测得的压强(托)

  K-滴管系数(托·升/秒)

  K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt

  其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升)

  L-滴管刻度部分的长度(mm)

  n-滴管刻度部分的格数(格)

  Υ0-油的比重(克/厘米3)

  Υm-汞的比重(克/厘米3)

  Pa-当地大气压强(托)

  △Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)

  15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:

  S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

  式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。

  16、O型橡胶槽深B=0.7D

  D为橡胶直径,槽宽C=1.6B

  17、方形橡胶槽深B=0.8A

  A为方形橡胶边长,槽宽C=1.67B